Предлагаем следующие проекты:

• Установка ионно-плазменного нанесения тонких пленок, созданная специально для наладки технологии осаждения слоистых систем. Возможно осаждение отдельных слоев и многослойных структур из молибдена и кремния для VUV (вакуумного - ультрафиолета) и рентгенооптической спектральной области. Опись, входящего в данный проект оборудования; описание и назначение установки Вы можете прочитать


• Дуоплазматрон с системой контроля пучка для сверхвысоковакуумных ионно-лучевых установок.
  Рассчитан на работу с газовыми ионами до энергий 25 кэВ, может использоваться в составе UHV - систем с прогревом до 300°С. Система контроля обеспечивает полностью автоматизированную фокусировку и стабилизацию положения ионного пучка под управлением сети контроллеров.


• Сверхвысоковакуумная установка для анализа поверхности и ионно-лучевого травления.
  Используются методы ионной и электронной спектроскопии (AES, ERD, SIMS) и ионно-лучевого травления с компьютерным управлением ионными источниками и программируемым вращением, перемещением образцов.


• Установка для масс-спектрометрических измерений.
  Предназначена для моделирования накопления трития в ТЯР и исследования проблем водородной энергетики.


• Плазменный инжектор.
  Предназначен для создания импульсного потока плазмы для поджига магнетронных или иных источников (etcher) с питанием от ВЧ генератора при рабочем давлении этих источников.
  Отличительной особенностью инжектора является создание магнитного поля только на время импульса плазмы.


• Вауумный пост и вакуумные комплектующие.
  Предназначен для широкого спектра задач, связанных с обработкой поверхности, в том числе плазменного травления и нанесения покрытий, с преподготовкой и обработкой образцов в вакууме – их обезгаживание, модификация, в том числе с использованием инертных газов (аргон, неон и др.)


• Ионный источник с электронным ударом.
  Рассчитан на работу с газовыми ионами в диапазоне энергий 0,2 - 3 кэВ, может использоваться в составе UHV - систем с прогревом до 200°С. Система контроля обеспечивает полностью автоматизированную фокусировку и стабилизацию положения ионного пучка под управлением контроллеров.


• Водородный фильтр.
  Для фильтрации водорода наиболее часто используется свойство сплавов палладия селективно пропускать водород при нагреве. Фильтр представляет собой сверхвысоковакуумный цилиндрический объем с водяным охлаждением.