Ионный источник с электронным ударом (ПИРАМИД ВАКУУМ)
Разработанный ООО «Пирамид Вакууум» ионный источник с электронным ударом отличается повышенной концентрацией электронов в области ионизации, что позволяет поднять ток вытягиваемых ионов при одинаковом напуске рабочего газа в область ионизации по сравнению с традиционными источниками ионов такого типа.
Предлагаемый источник обладает следующими параметрами и характеристиками:
- Материалы, используемые при изготовлении ионного источника – совместимые со сверхвысоким вакуумом и обеспечивающие прогрев до 200°С
- Энергия извлекаемых ионов – 0.2 - 3кэВ; регулировка 0 - 3кВ с шагом не хуже 1В;
- Регулировка фокусирующего напряжение в диапазоне 0 - 3кВ с шагом не хуже 1В
- Фокусное расстояние от фланца DN 40CF: 62 мм при диаметре пятна: 1 - 5мм.
- Регулировка напряжения экстрактора в диапазоне 0 - 1кВ с шагом не хуже 0.5В
- Регулировка тока эмиссии 0 - 20мА с шагом 20µА. Режим дегазации.
- Измерение извлекаемого из источника тока
- Вход 0 - 10µА для измерения ионного тока с внешнего цилиндра Фарадея
- Рабочий газ: аргон. Рабочее давление в источнике ~10-4 мбар.
- Измерение давления в камере травления с помощью лампы PBR260
- Ручная регулировка напуска газа 0 - 1.5кВ (СНА-1) с шагом не хуже 1В
- Стабилизация давления (PID) в камере травления по лампе PBR260 в диапазоне 5*10-6 - 2*10-7 мбар. (Остаточное давление в камере травления не хуже10-8 мбар при скорости откачки 30 - 70л/с)
- Максимальный извлекаемый ток ионов при давлении 5*10-6 - 2*10-7 мбар в камере травления и ускоряющем напряжении 1 кВ – не менее 1 - 0.04 µА соответственно.
- Управление всеми параметрами с лицевой панели блока управления и с помощью тестовой программы под ОС Windows через RS232
- Отключение источника по таймеру (0 - 3 часа), а также по превышению давления в камере травления более 10-4 мбар
Система контроля пучка ионно-лучевой установки (ПИРАМИД ВАКУУМ)
Ионно-лучевые установки должны обеспечивать стабильный сфокусированный пучок на выходе. Разработана система полностью автоматизированной фокусировки и стабилизации положения ионного пучка. Cистема минимально содержит три контроллера, реализованных на микроконтроллерах LPC2106 (Philips) а также 14 бит ЦАП и 24 бит АЦП, размещенных в блоке питания ионного источника (ISPS-1):
- Контроллер управления ионным источником с электронным ударом. Необходимая изоляция по высокому напряжению обеспечивается с помощью интерфейса IrDA. Позволяет управлять накалом катода, напряжением на аноде, отражателе и экстракторе, стабилизирует ток эмиссии.
- Контроллер управления ускоряющим напряжением, фокусировкой и натекателем рабочего газа. Является также основным контроллером, через который может осуществляться связь с компьютером через стандартный интерфейс RS232.
- Контроллер сканирования и измерения тока пучка. При сканировании пучка около входного отверстия цилиндра Фарадея, установленного вблизи мишени определяется профиль пучка, далее в автоматическом режиме производится оптимальная фокусировка пучка. Возможно сканирование пучка по мишени по закону, задаваемому массивом данных, загружаемым перед началом сканирования.
Управление параметрами возможно как с панели прибора, так и с компьютера. Разработанная программа в OS Windows позволяет управлять параметрами системы и визуализировать измеренные величины.
|