Для фильтрации водорода наиболее часто используется свойство сплавов палладия селективно пропускать водород при нагреве.

Фильтр представляет собой сверхвысоковакуумный цилиндрический объем с водяным охлаждением. Водород проходит через трубки электрического ввода (2). Два установленных вентиля (3) служат для продувки трубок с водородом, ввода водорода и для закрытия фильтра во время транспортировки. Датчик давления (6) (1-5 бар) установлен для измерения входного давления водорода.

 В нижней части охлаждаемого объема установлен переходник CF40/16 (5) и клапан CF40 (VAT). Давление в объеме измеряется емкостным датчиком (Pfeiffer CMR 261 (диапазон 0.1-1100 мбар)).
Трубка фильтра нагревается при пропускании постоянного тока. Температура контролируется термопарой. Для предотвращения перегрева прибора, в случае отсутствия водяного охлаждения, на электрическом вводе установлен датчик температуры.

Модуль управления включает в себя питание для нагрева трубки фильтра и микроконтроллер для регулировки температуры. Кроме того, модуль имеет вход датчика давления, термопары и управление внешним клапаном.

Управляющий компьютер подключается через нтерфейс RS 232. Программа под Windows обеспечивает управление напуском водорода или температурой трубки и имеет удобный для пользователя интерфейс.