Сверхвысоковакуумная установка для анализа поверхности и ионно-лучевого травления

Сверхвысоковакуумная установка для анализа поверхности методами ионной и электронной спектроскопии (AES, ERD, SIMS) и ионно-лучевого травления с компьютерным управлением ионными источниками и программируемым вращением, перемещением образцов.