Информация Оборудование Компоненты Сервис Проекты Заказ


Масс-анализаторы серии Extorr XT
Встроенный измеритель давления от атмосферы до UHV

Масс-анализаторы серии Extorr XT – это устройства, содержащие квадрупольный анализатор остаточного газа, широкодиапозонный комбинированный измеритель давления: типа Pirani (от атмосферного давления) и ионизационный с горячим катодом (до 10-9 Тор).

Общее описание:
  • Квадрупольный масс-анализатор позволяет анализировать состав газа в вакуумных установках, а также регистрировать сигналы, пропорциональные парциальным давлениям выделенных компонент газа в камере. Прибор может быть использован также в качестве высокочувствительного гелиевого течеискателя.
  • Принцип действия имерителя вакуума типа Pirani основан на изменении теплопроводности окружающего газа в зависимости от давления.
  • В основе ионизационного измерителя вакуума лежит ионизация остаточного газа электронным ударом с последующим измерением тока ионов в зависимости от давления.
Пирани включается с атмосферного давления, ионизационный измеритель с 10-2 Торр, а масс-спектрометр - с давления 10-4 Торр (встроенная защита катода).Ионизационный датчик измеряет общее давление до 2х10-9 Торр, что связано с фоновым током. Масс-анализатор измеряет парциальные давления до 10-11 торр для моделей с цилиндром Фарадея (до 10-14 Торр для моделей с электронным умножителем).



Основные отличия от аналогов других фирм:

  • В одном корпусе квадрупольный масс-анализатор газа и широкодиапазонный датчик давления
  • Высокая чувствительность
  • Защита катода
  • Удобная программа
  • Привлекательная цена
Cуществует три типа анализаторов серии XT:
XT100 - в диапазоне 1 - 100 а.е.м.
XT200 - в диапазоне 1 - 200 а.е.м.
XT300 - в диапазоне 1 - 300 а.е.м.
Для моделей со встроенным электронным умножителем (повышающим чувствительность регистрации парциальных давлений на 3 порядка), в название прибора добавляется буква М (XT100M, XT200M, XT300M).
Управление масспектрометра осуществляется с компьютера, подключенного к блоку управления. Программа Vacuum Plus позволяет управлять всеми параметрами масспектрометра, и отображает и записывает парциальные давления для выбранного массового диапазона, либо времени.
Основные технические характеристики
Диапазон масс XT100(M) 1 до 100 а.е.м.
XT200(M) 1 до 200 а.е.м.
XT300(M) 1 до 300 а.е.м.
Тип масс-анализатора квадроуполь
Тип детектора в квадруполе Цилиндр Фарадея (ЦФ), опционально - электронный умножитель (ЭУ)
Разрешение Лучше чем 0.5 а.е.м.
Минимальное детектируемое
парциальное давление
Для азота при регистрации ЦФ - 10-11 торр, ЭУ - 10-14 торр
Рабочее давление

От атмосферного до сверхвысокого вакуума.
Рекомендуется:
для измерения давления - ниже 10-2 торр
для анализа состава газа - ниже 10-3 торр
при использовании ЭУ – ниже 10-6 торр

Конструкция ионизатора Открытый ионный источник, ионизация электронным ударом.
Катод ионизатора Материал катода иридий, покрытый окисью иттрия . Предусмотрены защита и
обезгаживание. Модуль катода заменяем.
Материалы прибора 304SS-нержавеющая сталь, ковар, вольфрам, керамика, иридий, медь,
никель
Присоединительный фланец DN 40 CF
Время прогрева прибора 30 мин. Стабильность массы после прогрева ±0.1 а.е.м.
Интерфейс компьютера RS-232C, 115.200 Кб/с
Програмное обеспечение Разработано для операционной системы Windows 2000 или XP.
Потребляемая мощность 24 В 2.5 A. Поставляется стандартный адаптер 120/240 VAC.

 

Комплект поставки
В комплект поставки входят:
- анализатор,
- блок питания и управления,
- программное обеспечение
- кабели,
- ЗИП (медное уплотнение и
установочные болты).


Назад